Печать в наномасштабах

 

Опубликовано1 ноября, 2012 - 00:05

Российские ученые совершили прорыв в области оптической печати, предложив инновационный тип литографии высочайшего разрешения — электрохимическую рентгеновскую литографию.

Исследователи факультета наук о материалах МГУ имени Ломоносова во главе с Андреем Елисеевым опубликовали в журнале Angewante Chemie работу, посвященную оптической бесконтактной печати нового поколения (метода формирования на поверхности подложки электронных схем и наноструктур), которая должна стать ответом на вызов, брошенный производителями микроэлектроники.

В своем стремительном развитии микроэлектроника сталкивается с массой технологических проблем, и одна из них — совершенствование видов литографии, необходимое для дальнейшего уменьшения размеров электроэлементов.

Электромеханическая рентгеновская литография сочетает преимущества рентгеновской фотолитографии с универсальностью электрохимической обработки. Уникальным такой способ делает совмещение воздействия рентгеновского излучения с длиной волны в единицы ангстрем (десятые доли нанометра) и электрохимического синтеза новых планарных материалов с упорядоченной структурой на границе раздела твердой подложки и раствора.

В результате испытаний ученые смогли получить структурированные слои электроосажденного металлического никеля на плоской подложке кремния с напыленным слоем золота. Применяя рентгеновское излучение через кремниевую маску, расположенную на расстоянии четырех микрометров, удалось увеличить ток при осаждении никеля из электролита на подложку.

Такой эффект стал возможен благодаря фотоионизации подложки при воздействии квантов рентгеновского излучения и испусканию фотоэлектронов в объем электролита, что способствует электрохимическому восстановлению ионов никеля.

На сегодня такой метод — самый продвинутый, хотя новинки в этой области появляются с завидной регулярностью.

Изобретение россиян может составить серьезную конкуренцию уже используемым продуктам фотолитографии с длиной волны 13 нм и рентгенолитографии с длиной волны излучения 0,4–5 нм, которые до последнего времени считались победителями в гонке за наноразмером.

Источник(и):

1. expert.ru

Регіони

Vinnytsya Lutsk Dniepropetrivsk Donetsk Zhytomyr Uzhgorod Zaporizhzhya Ivanofrankivsk Kyivska Kyrovograd Crimea Lugansk Lviv Mykolaiv Odessa Poltava Rivne Sumy Ternopil Kharkiv Kherson Khmelnytsky Cherkasy Chernigiv Chernivtsi
Київ

Публікації

July 2025
Mo Tu We Th Fr Sa Su
30 1 2 3 4 5 6
7 8 9 10 11 12 13
14 15 16 17 18 19 20
21 22 23 24 25 26 27
28 29 30 31 1 2 3

 

Випадкова стаття

  • 1
  • 2
  • 3

Выставка-семинар «Российские нанотехноло…

01-10-2012 Олена - avatar Олена

 Опубликовано 1 октября, 2012 - 06:04 Выставка-семинар «Российские нанотехнологии и разработки в области автомобиле- и машиностроения» на базе Российского центра науки и культуры г. Рим состоится в период с 1 по...

Робота Міністерства спрямована на розвит…

12-10-2012 Олена - avatar Олена

11 жовтня 2012 Про це заявив сьогодні Перший заступник Міністра освіти і науки, молоді та спорту Євген Суліма під час відкриття Міжнародного науково-практичного Форуму «Наука і бізнес – основа розвитку економіки»,...

Модернізація підприємств енергетики спри…

25-10-2012 Олена - avatar Олена

25.10.2012 17:55 Прес-служба Президента України Віктора Януковича Модернізація підприємств енергетики та енергомашинобудування сприятиме зростанню національної економіки. Про це Президент України Віктор Янукович сказав у Харкові під час спілкування з працівниками заводу «Турбоатом».